Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Материалы и структуры современной электроники
  6. 2008. Материалы и структуры современной электроники
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223283
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorВоробей, Р. И.-
dc.contributor.authorГусев, О. К.-
dc.contributor.authorПилипeнкo, В. А.-
dc.contributor.authorПлeбaнoвич, В. И.-
dc.contributor.authorТявловский, А. К.-
dc.contributor.authorТявловский, К. Л.-
dc.contributor.authorЧигирь, Г. Г.-
dc.date.accessioned2019-07-09T09:12:06Z-
dc.date.available2019-07-09T09:12:06Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 57-61ru
dc.identifier.isbn978-985-518-091-4-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/223283-
dc.description.abstractКонтроль параметров пространственного распределения структурных дефектов производится неразрушающим методом измерения электрического потенциала поверхности с использованием зонда Кельвина. Модификация метода зонда Кельвина с анализом дистанционной зависимости компенсирующего напряжения от межэлектродного зазора [1] позволяет обнаруживать и измерять параметры пространственного распределения электрического потенциала поверхности объекта контроля, связанные с неоднородностью распределения структурных образований, имеющих размеры существенно меньше размеров отсчетного электрода.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleНеразрушающий контроль пространственного распределения структурных дефектов в приповерхностных областях полупроводниковых структурru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2008. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
57-61.pdf807,68 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.