Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223063| Title: | Профили пространственного распределения ионов азота и фосфора, имплантированных в ПММА |
| Authors: | Григорьев, В. В. Иванов, А. И. Комаров, Ф. Ф. Коньшин, И. В. Камышан, А. С. Леонтьев, А. В. Юрченко, В. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 1997 |
| Publisher: | Минск : Універсітэцкае |
| Citation: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1997. – № 1. – С. 10-15. |
| Abstract: | Spatial distribution profiles for N+ and P+ ions implanted into PMMA have been obtained by the methods of secondary ion mass spectrometry and Rutherford back scattering. Experimental trajectory parameters have been compared to the theoretical calculations carried out by the Monte-CarIo method. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223063 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 1997, №1 (январь) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.