Просмотр "2007. Взаимодействие излучений с твердым телом" Авторы Емельянов, А. В.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2007 | Применение ионного распыления для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин | Емельянов, А. В.; Сякерский, В. С.; Ухов, В. А.; Чигирь, Г. Г. |