Разработка системы регистрации оптических спектров на базе ПЗС-линейки

Abstract

В современной науке и промышленности невозможно существование высококачественных установок для нанесения пленок без знания химического состава веществ. Так, в полупроводниковый промышленности существует необходимость определять примеси, содержание которых составляет порядка 10-7-10-9%. Одним из главных методов для решения подобных задач является спектральный анализ, который способен обеспечить высокую производительность путем автоматизации отдельных операций или всего процесса анализа. Современные установки обладают достаточно высокой ценой на уровне с высоким качеством, однако современная материальная база оптических частей на постсоветском пространстве является вполне отвечающей современным стандартам в отличие от средств регистрации и управления. Самым лучшим решением является модернизация современных монохроматических установок в спектрометры. Поэтому передо мной была поставлена задача о разработке спектрорегистрационного модуля для монохроматора.