Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/215229
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorПоклонский, Н. А.
dc.contributor.authorГорбачук, Н. И.
dc.contributor.authorШпаковский, С. В.
dc.contributor.authorСкуратов, В. А.
dc.contributor.authorWieck, A.
dc.date.accessioned2019-02-21T13:28:18Z-
dc.date.available2019-02-21T13:28:18Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 192-196.
dc.identifier.isbn978-985-566-671-5
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/215229-
dc.descriptionДефектно-примесная инженерия. Радиационные эффекты в полупроводниках
dc.description.abstractИсследованы зависимости комплексной электрической емкости структур Al/SiO2/n-Si, облученных ионами ксенона с энергией 166 МэВ, от частоты переменного тока и постоянного напряжения смещения. Предложена эквивалентная схема замещения облученных структур, находящихся в режиме сильной инверсии, учитывающая генерационно-рекомбинационные процессы на радиационных дефектах в области пространственного заряда и разброс времен перезарядки поверхностных состояний на границе раздела SiO2/n-Si.
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleЕмкость в режиме сильной инверсии структур Al/SiO2/n-Si, облученных ионами ксенона
dc.title.alternativeCapacitance in the strong inversion regime of structures Al/SiO2/N-Si irradiated with xenon ions / N. A. Poklonski, N. I. Gorbachuk, S. V. Shpakovski, V. A. Skuratov, A. Wieck
dc.typeconference paper
dc.description.alternativeThe dependences of the complex electrical capacitance of Al/SiO2/n-Si structures irradiated with xenon ions with an energy of 166 MeV on the frequency of the alternating current and the constant bias voltage are studied. An equivalent circuit of irradiated structures that are in the strong inversion regime is proposed, which takes into account the generation-recombination processes at irradiation-induced defects in the space charge region and the scattering of charge-exchange times for surface states at the SiO2/n-Si interface.
Располагается в коллекциях:2018. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
192-196.pdf403,34 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.