Парамагнитные, механические свойства и структурные характеристики имплантированных ионами сурьмы с энергией 60 кэВ пленок полиэтилентерефталата

Оджаев, В. Б.; Олешкевич, А. Н.; Лапчук, Н. М.; Лапчук, Т. М.; Леончик, С. В.; Неверовская, А. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/215225

Title:	Парамагнитные, механические свойства и структурные характеристики имплантированных ионами сурьмы с энергией 60 кэВ пленок полиэтилентерефталата
Other Titles:	Paramagnetic, mechanical properties and structural characteristics of polyethylene terephthalate films implanted by ions antimony with energy 60 keV / V. B. Odzaev, A. N. Oleshkevich, N. M. Lapchuk, Т. М. Lapchuk, S. V. Leonchik, A. V. Neverovskaya
Authors:	Оджаев, В. Б. Олешкевич, А. Н. Лапчук, Н. М. Лапчук, Т. М. Леончик, С. В. Неверовская, А. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2018
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 175-180.
Abstract:	Методом электронного парамагнитного резонанса при комнатной температуре исследованы образцы полиэтилентерефталата (ПЭТФ), облученные ионами сурьмы с энергией 60 кэВ флюенсом 6×10 14 см −2 –1,2×10 16 см −2 . Обнаружено, что при увеличении флюенса ионов сурьмы парамагнетизм пленок исчезает. Показано, что изменение микротвердости имплантированных образцов ПЭТФ коррелирует с изменением резонансной частоты и изменением добротности резонатора. Сделан вывод об образовании малых кластеров сурьмы и переходу имплантированного слоя ПЭТФ из парамагнитного состояния в диамагнитное.
Abstract (in another language):	Electron paramagnetic resonance at room temperature was used to study samples of polyethylene terephthalate (PET) irradiated with antimony ions with an energy of 60 keV fluence 6×10 14 cm -2 –1.2×10 16 cm -2 . It is found that as the fluence of antimony ions increases, the paramagnetism of the films disappears. It is shown that the change in the microhardness of the implanted PET samples correlates with the change in the resonant frequency and the change in the quality factor of the resonator. A conclusion is drawn on the formation of small antimony clusters and the transition of an implanted PET layer from the paramagnetic state to the diamagnetic state.
Description:	Дефектно-примесная инженерия. Радиационные эффекты в полупроводниках
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/215225
ISBN:	978-985-566-671-5
Appears in Collections:	2018. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
175-180.pdf		694,49 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar