Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/215209| Заглавие документа: | Количественный анализ нанорельефа поверхности металлических пленок на стекле по данным сканирующей зондовой микроскопии |
| Другое заглавие: | Quantitative analysis of surface nanorelief of metallic films on glass substrate using scanning probe microscopy data / I. I. Tashlykova-Bushkevich, E. S. Moyseychik, R. D. Lobach, D. V. Sukhodolsky |
| Авторы: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Мойсейчик, Е. С. Лобач, Р. Д. Суходольский, Д. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 111-117. |
| Аннотация: | В данной работе рассмотрены вопросы, касающиеся анализа поверхностного нанорельфа, а также взаимосвязь параметров шероховатости тонких металлических пленок с их физико-химическими свойствами. Показано, как компьютерная обработка полученных с помощью атомно-силовой микроскопии изображений поверхности тонких пленок молибдена на стекле позволяет получить количественную информацию о поперечных и продольных характеристиках шероховатости поверхности, а также распределении высот и впадин нанорельефа в зависимости от условий формирования покрытий. Предложено использование нового исследовательского гибридного параметра k, который количественно характеризует форму неровностей профиля. Установленная зависимость равновесного краевого угла смачивания пленок водой от k демонстрирует, что смачиваемость системы Mo/подложка определяется особенностями нанорельефа поверхности. |
| Аннотация (на другом языке): | This work considers questions related to the analysis of surface nanorilief and a relationship between the roughness parameters of thin metallic films and their physicochemical properties. It is shown how computer processing of atomic-force microscopy images of surface of thin molybdenum films on glass allows obtaining the quantitative information on amplitude and spacing characteristics of surface roughness as well as a distribution of nanorelief heights and valleys depending on deposition conditions of the coatings. New research hybrid parameter k is proposed to quantitatively characterize the shape of surface profiles. The revealed dependence of equilibrium water contact angle of the films on k shows that surface wettability of Mo/substrate system is affected by features of surface nanorelief. |
| Доп. сведения: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/215209 |
| ISBN: | 978-985-566-671-5 |
| Финансовая поддержка: | Работа частично финансировалась в рамках ГПНИ на 2016–2020 г. «Физическое материаловедение, новые материалы и технологии» (подпрограмма «Материаловедение и технологии материалов», задание 1.40, № ГР 20161123). Авторы благодарны О. Г. Бобровичу (БГТУ), О. М. Михалковичу и Ю. С. Яковенко (БГПУ) за помощь при получении образцов методом ионно-ассистированного осаждения в условиях самооблучения и проведении АСМ измерений. |
| Располагается в коллекциях: | 2018. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 111-117.pdf | 891,37 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.