Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/214450
Заглавие документа: | Выращивание тонких пленок гетероэпитаксиального карбида кремния на кремниевых пластинах с буферными слоями различного состава : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук |
Авторы: | Гайдук, П. И. Лобанок, М. В. Наливайко, В. О. Петров, Н. А. |
Тема: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургия |
Дата публикации: | 2018 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Аннотация: | Объектом исследования являлись эпитаксиальные слои SiC, выращенные при высокотемпературном отжиге в вакууме. Цель работы – формирование тонких эпитаксиальных слоев SiC на кремниевых подложках с буферными слоями на основе кремний-германиевых сплавов методом высокотемпературной карбидизации. Развиты методики формирования гетероструктуры SiC на профилированной структуре на основе кремний-германиевых сплавов методом высокотемпературной обработки в вакууме. Исследование основывается на использовании методов резерфордовского обратного рассеяния, просвечивающей электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света для определения состава, структуры и свойств материалов. В результате исследованы образцы карбида кремния, выращенного на кремниевых подложках с буферными слоями; методами электронной микроскопии и электронной дифракции обнаружено формирование слоев кубического карбида кремния в виде двухфазной системы (моно- и поликристаллической фазы). Анализ дифракционных картин выявил преобладание поликристаллической фазы на образцах, изготовленных на профилированных подложках. Анализ спектров комбинационного рассеяния (КРС) показал, что изготовленные на буферных слоях на основе кремний-германиевых сплавов образцы содержат две фазы карбида кремния, которые представляют собой политипы 3C и 6H. Область применения. Результаты, полученные при выполнении работы, могут быть использованы при проведении НИР и НИОКР, связанных с разработкой светоизлучающих и фотоприёмных устройств, приборов силовой и СВЧ-электроники. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/214450 |
Регистрационный номер: | № госрегистрации 20180481 |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2018 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20180481 Гайдук.doc | 11,13 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.