Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/2140
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Панфиленок, Е. С. | - |
dc.contributor.author | Манак, И. С. | - |
dc.contributor.author | Медвидь, А. | - |
dc.contributor.author | Онуфриев, П. | - |
dc.date.accessioned | 2011-05-05T12:01:37Z | - |
dc.date.available | 2011-05-05T12:01:37Z | - |
dc.date.issued | 2010-01 | - |
dc.identifier.citation | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. - 2010. - N 1. - С. 67-71. | ru |
dc.identifier.issn | 0321-0367 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/2140 | - |
dc.description.abstract | Numerical calculations of processes of semiconductors heating by radiation as well as processes of the SiGe material component composition changing because of their uneven heating have been conducted. A physical model of three-dimensional structures formation on semiconductor surface by laser pulse radiation have been suggested. = Проведены численные расчеты процессов нагревания полупроводников при воздействии лазерного излучения, а также процессов изменения компонентного состава в приповерхностной области SiGe, вызванных их неравномерным нагревом. Предложена физическая модель процессов формирования трехмерных структур на поверхности полупроводников и образования δ-слоя Ge в кремнии под действием лазерных импульсов. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БГУ | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Моделирование процессов изменения компонентного состава SiGe-материала при импульсном лазерном облучении | ru |
dc.type | article | ru |
Располагается в коллекциях: | 2010, №1 (январь) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
15Моделирование процессов Вестник_БГУ_Январь_2010_Серия1_№1.pdf | 505,96 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.