Механизм электропроводности тонких нестехиометрических пленок диоксида олова : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ; научный руководитель В. К. Ксеневич

Abstract

Объектом исследования являются тонкие пленки нестехиометрического диоксида олова, полученные методом магнетронного напыления металлического олова c последующими окислительными отжигами. Цель работы - исследование электронных процессов и установление физических закономерностей электропроводности тонких пленок диоксида олова различного стехиометрического состава. Основными методами исследования являются измерения вольтамперных характеристик, зависимостей сопротивления от температуры, действительной и мнимой частей импеданса, измерения зависимостей сопротивления от магнитного поля в широком температурном диапазоне. В результате выполнения проекта: - Исследованы электрические свойства тонких нестехиометрических пленок диоксида олова, установлены механизмы транспорта заряда в них. - Установлены закономерности изменения электрических свойств металлооксидных пленок в зависимости от условий их формирования, которые обеспечивают возможность получения образцов различного стехиометрического состава. - На основании анализа температурных зависимостей сопротивления тонких нестехиометрических пленок диоксида олова установлено, что в области низких температур перенос носителей заряда осуществляется посредством прыжковой проводимости с переменной длиной прыжка.