Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/208394| Заглавие документа: | Временная стабильность резистивных слоев TaAl и РС-3710, сформированных высокодозной ионной имплантацией |
| Другое заглавие: | Time stability of the TaAl and RS-3710 resistive layers formed by high dose ion implantation / A.I. Kupchishin, T.V. Pozdeeva, S.S. Hrechny |
| Авторы: | Купчишин, А. И. Поздеева, Т. В. Гречный, С. С. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2003 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 368-369. |
| Аннотация: | Проведены испытания на временную стабильность резистивных слоев TaAI и РС-3710, которые после нанесения без развакуумирования камеры отжигались при T = 450°С, t = 30 мин, (ps = 880 ом/п, TKC = -140-10-6 град-1 и затем имплантировались ионами N+2 , O+2 или Ne+ с E = 60 кэВ в диапазоне доз 1-106 + 4-1017 ион/см2. Вторая группа образцов - без отжига (ps = 1 кОм/п, TKC = 20-10-6 град-1) проходила через те же режимы ионного облучения. Испытания показали, что коэффициент стабильности резисторов РС-3710 может быть значительно улучшен последующей ионной бомбардировкой. В случае системы TaAI эффективность ионной имплантации оказалась намного ниже. |
| Аннотация (на другом языке): | The time stability testings for TaAI and RS-3710 resistive layers have been performed. Two sets of specimens had been prepared for such studies. Layers of the first set were deposited and annealed in the deposition chamber and then were implanted with N+2, O+2 or Ne+ ions. In the second case the deposited layers were irradiated by the above mentioned ions without a previous annealing procedure. The testing results illustrated the favourable changes of ion implanted RS-3710 resistors, and very modest efficiency of high dose ion implantation on the resistivity time stability for TaAI layers. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/208394 |
| ISBN: | 985-445-236-0; 985-445-235-2 |
| Располагается в коллекциях: | 2003. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 368-369.pdf | 1,91 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.