Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208394
Title: Временная стабильность резистивных слоев TaAl и РС-3710, сформированных высокодозной ионной имплантацией
Other Titles: Time stability of the TaAl and RS-3710 resistive layers formed by high dose ion implantation / A.I. Kupchishin, T.V. Pozdeeva, S.S. Hrechny
Authors: Купчишин, А. И.
Поздеева, Т. В.
Гречный, С. С.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2003
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 368-369.
Abstract: Проведены испытания на временную стабильность резистивных слоев TaAI и РС-3710, которые после нанесения без развакуумирования камеры отжигались при T = 450°С, t = 30 мин, (ps = 880 ом/п, TKC = -140-10-6 град-1 и затем имплантировались ионами N+2 , O+2 или Ne+ с E = 60 кэВ в диапазоне доз 1-106 + 4-1017 ион/см2. Вторая группа образцов - без отжига (ps = 1 кОм/п, TKC = 20-10-6 град-1) проходила через те же режимы ионного облучения. Испытания показали, что коэффициент стабильности резисторов РС-3710 может быть значительно улучшен последующей ионной бомбардировкой. В случае системы TaAI эффективность ионной имплантации оказалась намного ниже.
Abstract (in another language): The time stability testings for TaAI and RS-3710 resistive layers have been performed. Two sets of specimens had been prepared for such studies. Layers of the first set were deposited and annealed in the deposition chamber and then were implanted with N+2, O+2 or Ne+ ions. In the second case the deposited layers were irradiated by the above mentioned ions without a previous annealing procedure. The testing results illustrated the favourable changes of ion implanted RS-3710 resistors, and very modest efficiency of high dose ion implantation on the resistivity time stability for TaAI layers.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/208394
ISBN: 985-445-236-0; 985-445-235-2
Appears in Collections:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
368-369.pdf1,91 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.