Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208380
Title: ВИМС-анализ положительно и отрицательно заряженных кластеров при травлении тонких полимерных пленок ионами кислорода и цезия
Other Titles: SIMS-analysis of the negative and positive charged clasters under the sputtering of the thin polymer films cesium and oxygen ions / A.I. Ivanov, A.V. Leontyev
Authors: Иванов, А. И.
Леонтьев, А. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2003
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 349-351.
Abstract: Представлены экспериментальные результаты по травлению ряда полимерных пленок ионами кислорода и цезия Изучен выход положительно заряженных фрагментов с массовыми числами от 1-200 а.е. Получено, что более детальную информацию по картине деструкции полимерных пленок под действием ионных пучков можно получить при использовании ионов Cs+. При этом прекрасно наблюдаются основные углеводородные серии. Использование ионов О2+ усложняет расшифровку масс-спектра в виду наложения ряда линий. Полученные результаты позволили уточнить картину деструкции исследованных полимерных материалов при ионном травлении, что необходимо при внедрении сухих процессов в технологии микро- и наноэлектроники.
Abstract (in another language): Dynamic and static secondary ion mass spectroscopy (SIMS) investigations of some polymer materials are presented. Degassing of polymer components under oxygen and cesium sputtering and chemical modification during ion irradiation were investigated.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/208380
ISBN: 985-445-236-0; 985-445-235-2
Appears in Collections:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
349-351.pdf2,78 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.