Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/208380
Заглавие документа: | ВИМС-анализ положительно и отрицательно заряженных кластеров при травлении тонких полимерных пленок ионами кислорода и цезия |
Другое заглавие: | SIMS-analysis of the negative and positive charged clasters under the sputtering of the thin polymer films cesium and oxygen ions / A.I. Ivanov, A.V. Leontyev |
Авторы: | Иванов, А. И. Леонтьев, А. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2003 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 349-351. |
Аннотация: | Представлены экспериментальные результаты по травлению ряда полимерных пленок ионами кислорода и цезия Изучен выход положительно заряженных фрагментов с массовыми числами от 1-200 а.е. Получено, что более детальную информацию по картине деструкции полимерных пленок под действием ионных пучков можно получить при использовании ионов Cs+. При этом прекрасно наблюдаются основные углеводородные серии. Использование ионов О2+ усложняет расшифровку масс-спектра в виду наложения ряда линий. Полученные результаты позволили уточнить картину деструкции исследованных полимерных материалов при ионном травлении, что необходимо при внедрении сухих процессов в технологии микро- и наноэлектроники. |
Аннотация (на другом языке): | Dynamic and static secondary ion mass spectroscopy (SIMS) investigations of some polymer materials are presented. Degassing of polymer components under oxygen and cesium sputtering and chemical modification during ion irradiation were investigated. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/208380 |
ISBN: | 985-445-236-0; 985-445-235-2 |
Располагается в коллекциях: | 2003. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
349-351.pdf | 2,78 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.