ВИМС-анализ положительно и отрицательно заряженных кластеров при травлении тонких полимерных пленок ионами кислорода и цезия

Abstract

Представлены экспериментальные результаты по травлению ряда полимерных пленок ионами кислорода и цезия Изучен выход положительно заряженных фрагментов с массовыми числами от 1-200 а.е. Получено, что более детальную информацию по картине деструкции полимерных пленок под действием ионных пучков можно получить при использовании ионов Cs+. При этом прекрасно наблюдаются основные углеводородные серии. Использование ионов О2+ усложняет расшифровку масс-спектра в виду наложения ряда линий. Полученные результаты позволили уточнить картину деструкции исследованных полимерных материалов при ионном травлении, что необходимо при внедрении сухих процессов в технологии микро- и наноэлектроники.