Влияние ионной имплатации на формирование структуры пленок медь - фуллерен при отжиге

Abstract

Изучены структурно-фазовые превращения в однослойных медь - фуллереновых пленках с массовой долей меди 52 %, подвергнутых имплантации ионами B+ (Е = 80 кзВ, D = 5*1017 см-2) и термическому отжигу (Т = 673 К, t = 7 ч). Выявлено, что ионная имплантация приводит к повышению химической активности фуллеренов за счет дробления зерен фуллерита и ионизации отдельных молекул C60, кластеры из которых становятся центрами зародышеобразования новой фазы, В результате термического отжига имплантированных бором пленок происходит формирование развитой структуры пленок, имеющей вид гранул размеров от 0,2 до 4 мкм. Отжиг неимллантированных пленок приводит к росту отдельных грибоподобных образований новой фазы размером до 16 мкм.