Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/206850| Заглавие документа: | Дефектообразование при совместной имплантации кремния лантаноидами и легирующими примесями |
| Другое заглавие: | Radiation defect formation at joint implantation of silicon by lanthanoid and doping impurities / D.l. Brinkevich, V.B.Odzhaev, V.S. Prosolovich, Yu.N. Yankovski |
| Авторы: | Бринкевич, Д. И. Оджаев, В. Б. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2003 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 102-104. |
| Аннотация: | Методами измерения спектров электронного парамагнитного резонанса, ИК поглощения в сочетании с последовательным удалением слоев и обратного резерфордовского рассеяния исследовались процессы радиационного дефектообразования при имплантации ионами Yb монокристаллов кремния. Показано, что дополнительное внедрение ионов РЗЭ позволяет существенно снизить содержание в имплантированном материале радиационных дефектов, таких как парамагнитные центры аморфной фазы. Данный эффект наиболее выражен на образцах, предварительно облученных ионами бора или сурьмы. При обратной схеме имплантации существенных различий замечено не было. Наблюдаемые явления обусловлены трансформацией оборванных связей атомов кремния и легирующих примесей (В, Р) полями упругих напряжений, создаваемыми РЗЭ. |
| Аннотация (на другом языке): | Defects in Yb* ions implanted silicon were studied by IR absorption measurements, electron paramagnetic resonance and Rutherford back scattering methods. It is shown that additional Yb* ions implantation decrease W-center concentration in previously doping impurities implanted silicon. Those effects are due to the cloven Si and doping impurities atoms bounds transformation by the deformation stress caused by rare-earth elements. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/206850 |
| ISBN: | 985-445-236-0; 985-445-235-2 |
| Располагается в коллекциях: | 2003. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 102-104.pdf | 3,27 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.