Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 2003. Взаимодействие излучений с твердым телом
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/206798
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorНикитин, М. М.-
dc.date.accessioned2018-10-09T09:51:52Z-
dc.date.available2018-10-09T09:51:52Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 32-34.ru
dc.identifier.isbn985-445-236-0; 985-445-235-2-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/206798-
dc.description.abstractБомбардировка электронными частицами широко применяется в процессах вакуумного напыления. Описаны современные тенденции а способах ионно-активированного напыления. Обсуждены эффекты, связанные с низкоэнергетической ионной бомбардировкой. Температурные и другие условия, преобладающие во время процесса напыления, играют важную роль в управлении процессами зарождения и роста покрытия. Рассмотрены возможные механизмы действия ионов на структуру и свойства покрытий.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleНизкоэнергетические ионы в процессах вакуумного напыленияru
dc.title.alternativeLow-energy ions in processes of vacuum deposition / Mikhail Nikitinru
dc.typeconference paperru
dc.description.alternativeEnergy particle bombardment is used extensively in processes of vacuum deposition. The present trends in the techniques of ion-assisted deposition are described. The effects related to low-energy ion bombardment are discussed. The sputtering and thermal situation prevailing during growth plays an important role in controlling nucleation and growth conditions. The possible mechanisms of effect ion on the structures and properties of films are discussed.ru
Располагается в коллекциях:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
32-34.pdf3,26 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.