Просмотр "2003. Взаимодействие излучений с твердым телом" Авторы Партыка, Я.
Результаты 1 - 1 из 1
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2003 | Прогнозирование параметров ионной имплантации в кремний в технологии КНИ (smart-cut) | Миронов, А. М.; Комаров, А. Ф.; Ювченко, В. Н.; Партыка, Я.; Ковальски, М. |