Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/206548
Title: Механизм радиационной стойкости контактов TiNx-GaAs
Other Titles: Mechanism of radiation tolerance of TiNx-GaAs contacts / R.V.Konakova, V.V.Milenin, D.I.Voitsikhovskiy, O.D.Smijan
Authors: Конакова, Р. В.
Миленин, В. В.
Войциховский, Д. И.
Смиян, О. Д.
Issue Date: 1999
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.2. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 57-59.
Abstract: Исследована устойчивость структур к воздействию у-радиации 60Co. В качестве контактирующего с GaAs слоя использованы фазы внедрения на основе аморфных и поликристаллических пленок TiNx, полученных методом магнетронного напыления. Обсуждается механизм радиационной деградации контактов в диапазоне доз 104 - 5x105 Р, обусловленный планарной неоднородностью слоя металлизации.
Abstract (in another language): We have investigated the effect Of60Co y-irradiation in the 102 - 5-103 Gy range on the I - У curves Of TiNx-GaAs contact structures. Both the amorphous and polycrystalline TiNx layers were deposited using magnetron sputtering. It was shown that for contacts of both types the I - V curves differ from the ideal ones. This may result from the physico-chemical nonuniformity of the contacts studied. The degree of nonuniformity for the contacts with polycrystalline TiNx layers is higher than that for the ones with amorphous TiNx layers. For the former contacts degradation appears at higher (5x10° Gy) doses of y-irradiation, and changes in the I - V curves are of threshold type. One may suppose that the mechanism of the radiation stability for the contacts studied is related to their planar nonuniformity.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/206548
ISBN: 985-445-237-9
Appears in Collections:1999. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
57-59.pdf3,01 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.