Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/206548| Заглавие документа: | Механизм радиационной стойкости контактов TiNx-GaAs |
| Другое заглавие: | Mechanism of radiation tolerance of TiNx-GaAs contacts / R.V.Konakova, V.V.Milenin, D.I.Voitsikhovskiy, O.D.Smijan |
| Авторы: | Конакова, Р. В. Миленин, В. В. Войциховский, Д. И. Смиян, О. Д. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1999 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.2. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 57-59. |
| Аннотация: | Исследована устойчивость структур к воздействию у-радиации 60Co. В качестве контактирующего с GaAs слоя использованы фазы внедрения на основе аморфных и поликристаллических пленок TiNx, полученных методом магнетронного напыления. Обсуждается механизм радиационной деградации контактов в диапазоне доз 104 - 5x105 Р, обусловленный планарной неоднородностью слоя металлизации. |
| Аннотация (на другом языке): | We have investigated the effect Of60Co y-irradiation in the 102 - 5-103 Gy range on the I - У curves Of TiNx-GaAs contact structures. Both the amorphous and polycrystalline TiNx layers were deposited using magnetron sputtering. It was shown that for contacts of both types the I - V curves differ from the ideal ones. This may result from the physico-chemical nonuniformity of the contacts studied. The degree of nonuniformity for the contacts with polycrystalline TiNx layers is higher than that for the ones with amorphous TiNx layers. For the former contacts degradation appears at higher (5x10° Gy) doses of y-irradiation, and changes in the I - V curves are of threshold type. One may suppose that the mechanism of the radiation stability for the contacts studied is related to their planar nonuniformity. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/206548 |
| ISBN: | 985-445-237-9 |
| Располагается в коллекциях: | 1999. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.