Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/205861
Title: Исследование формирования элементного состава поверхностных слоев материалов при комбинированном воздействии импульсных пучков ионов различной мощности и плазменных потоков
Other Titles: Investigation of material surface layers element structure formation under combined treatment by pulsed ion beams of different power and plasma flows / A.V.Petrov, A.I.Ryabchikov, I.E.Stepanov, V.K.Struts, N.M.Polkovnikova, V.G.Tolmacheva, Yu.P.Usov, I.A.Shulepov
Authors: Петров, А. В.
Рябчиков, А. И.
Степанов, И. Б.
Струц, В. К.
Полковникова, Н. М.
Толмачева, В. Г.
Усов, Ю. П.
Шулепов, И. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2001
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 279-281.
Abstract: Приведены результаты исследований некоторых процессов на различных этапах создания адгезионно-прочных покрытий и модифицированных слоев с использованием высокодозной имплантации и глубокого диффузионного внедрения элементов при импульсном энергетическом воздействии. Исследования проведены на установке, которая обеспечивает возможность комбинированной обработки материалов импульсными ионными пучками с плотностью мощности 103-108 Вт/см2. Установка включает в себя ускоритель мощных ионных пучков, источник импульсно-периодических пучков ионов металлов и потоков металлической плазмы. В докладе приведено краткое описание и основные характеристики установки. Показана принципиальная возможность использования импульсных энергетических воздействий мощных ионных пучков для интенсификации массопереноса и увеличения глубины легирования первоначально имплантированной примеси. Приведены результаты по формированию высококачественных тонких покрытий с широкими переходными слоями, определяющими их адгезионную прочность, с использованием метода комбинированной обработки с участием мощного ионного пучка.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/205861
ISBN: 985-445-236-0
Appears in Collections:2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
279-281.pdf727,93 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.