Исследование формирования элементного состава поверхностных слоев материалов при комбинированном воздействии импульсных пучков ионов различной мощности и плазменных потоков

Abstract

Приведены результаты исследований некоторых процессов на различных этапах создания адгезионно-прочных покрытий и модифицированных слоев с использованием высокодозной имплантации и глубокого диффузионного внедрения элементов при импульсном энергетическом воздействии. Исследования проведены на установке, которая обеспечивает возможность комбинированной обработки материалов импульсными ионными пучками с плотностью мощности 103-108 Вт/см2. Установка включает в себя ускоритель мощных ионных пучков, источник импульсно-периодических пучков ионов металлов и потоков металлической плазмы. В докладе приведено краткое описание и основные характеристики установки. Показана принципиальная возможность использования импульсных энергетических воздействий мощных ионных пучков для интенсификации массопереноса и увеличения глубины легирования первоначально имплантированной примеси. Приведены результаты по формированию высококачественных тонких покрытий с широкими переходными слоями, определяющими их адгезионную прочность, с использованием метода комбинированной обработки с участием мощного ионного пучка.