Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 1999. Взаимодействие излучений с твердым телом
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/204264
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБурмаков, А. П.-
dc.contributor.authorИгнатенко, И. И.-
dc.contributor.authorКоротков, К. Б.-
dc.contributor.authorЧёрный, В. Е.-
dc.date.accessioned2018-08-27T06:55:45Z-
dc.date.available2018-08-27T06:55:45Z-
dc.date.issued1999-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.1. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 50-51.ru
dc.identifier.isbn985-445-236-0-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/204264-
dc.description.abstractПредложена структура системы управления расходами рабочих газов технологических установок ионно-лучевого и ионно-плазменного нанесения многослойных покрытий. Система обеспечивает постоянство давления и состава смеси рабочих газов в вакуумной камере при работе магнетронных распылителей, постоянство ионного и разрядного тока ионно-лучевых распылителей. Описаны возможности работы системы в автономном режиме и в случае связи системы с управляющей ЭВМ.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleКонтроллер управления расходами газов в технологических процессах ионно-плазменного и ионно-лучевого осаждения многослойных покрытийru
dc.title.alternativeGases flow rate control device in the technological processes of ion-plasma and ion-beam deposition of multi-layer coatings / A. Burmakov, V. Chorny, I. Ignatenko, K. Korotkovru
dc.typeconference paperru
dc.description.alternativeThe structure of decentralized control of various purposes technological units of ion-beam and ion-plasma multi-layer coatings deposition is considered. Block diagram of working gases flow rate control system of such units is given. The system provides constant level of pressure and working gases mixture composition in vacuum chamber during magnetron sputtering systems. This document has been edited with Infix PDF Editor - free for non-commercial use. To remove this notice, visit: www.iceni.com/unlock.htmru
Располагается в коллекциях:1999. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
50-51.pdf184,29 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.