Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/204253
Заглавие документа: | Перераспределения примесей в сплаве алюминия при ионной имплантации |
Другое заглавие: | Impurity redistribution in al alloy under ion implantation / G.A.Gusakov, S.I.Zhukova, N.V.Ukhov |
Авторы: | Гусаков, Г. А. Жукова, С. И. Ухов, Н. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2001 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 128-129 |
Аннотация: | Методом Оже-электронной спектроскопии исследовано распределение основных легирующих сплав алюминия Д16 примесей при имплантации ионов сурьмы (Е=100 кэВ) и бора (Е=20 кэВ). Обнаружено увеличение концентрации атомов меди и магния в имплантированных ионами сурьмы слоях сплава. Имплантация ионов бора не приводит к перераспределению примесей. |
Аннотация (на другом языке): | The distribution of basic impurities doping Al alloy D16 during antimony ion implantation (E=100 keV) and boron ion implantation (E=20keV) has been investigated by Auger-electron spectroscopy. The increase of copper and magnesium atoms concentration has been found in layers implanted with antimony ions. Boron ion implantation doesn't cause the redistribution of impurities. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/204253 |
ISBN: | 985-445-236-0 |
Располагается в коллекциях: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
128-129.pdf | 512,46 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.