Пороговая энергия образования первичных дефектов в кремнии

Abstract

В соответствии с современными теоретическими представлениями экспериментально определяемая величина пороговой энергии образования первичных смещений Ed определяется произведением вероятности смещения выбитого атома на сечение образования смещений, и не является “чистой” энергией необходимой для разрыва связей'ё решетке. В этом случае экспериментально определяемая величина Ed зависит от примесного состава и уровня легирования кремния. Уменьшение эффективности аннигиляции первичных радиационных дефектов с ростом уровня легирования кремния приводить к уменьшению величины Ed. Отсутствие аннигиляции в сильно легированном кремнии дает возможность оценить величину пороговой энергии, необходимую только для разрыва связей атомов. Оценки, проведенные в этом случае экспериментально определяемая величина Ed зависит от примесного состава и уровня легирования кремния. Уменьшение эффективности аннигиляции первичных радиационных дефектов с ростом уровня легирования кремния приводить к уменьшению величины Ed. Отсутствие аннигиляции в сильно легированном кремнии дает возможность оценить величину пороговой энергии, необходимую только для разрыва связей атомов. Оценки, проведенные в работе, дают величину Ed=11 -И 3 эВ.