Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/203899Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Senko, S. F. | - |
| dc.contributor.author | Snitovsky, Yu. P. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-08-22T08:34:33Z | - |
| dc.date.available | 2018-08-22T08:34:33Z | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 89 | ru |
| dc.identifier.isbn | 985-445-236-0 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/203899 | - |
| dc.description.abstract | Results of performing dry cleaning, doping of silicon in BF3+H2 and BF3+H2+CF4 plasma during fabrication of ohmic constants m equipment having the same hardware configuration have been considered based on the concept of a closed manufacturing system | ru |
| dc.language.iso | en | ru |
| dc.publisher | Минск : БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | A new technology of fabricating ohmic metal-silicon contacts | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.