Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом
Issue Date Author Title Subject
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/203899
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorSenko, S. F.-
dc.contributor.authorSnitovsky, Yu. P.-
dc.date.accessioned2018-08-22T08:34:33Z-
dc.date.available2018-08-22T08:34:33Z-
dc.date.issued2001-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 89ru
dc.identifier.isbn985-445-236-0-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/203899-
dc.description.abstractResults of performing dry cleaning, doping of silicon in BF3+H2 and BF3+H2+CF4 plasma during fabrication of ohmic constants m equipment having the same hardware configuration have been considered based on the concept of a closed manufacturing systemru
dc.language.isoenru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleA new technology of fabricating ohmic metal-silicon contactsru
dc.typeconference paperru
Appears in Collections:2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
89.pdf308,05 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.