Просмотр "2001. Взаимодействие излучений с твердым телом" Авторы Бордусов, С. В.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2001 | Исследование кинетики процесса удаления фоторезистивных покрытий с полупроводниковых пластин в объеме плазмы СВЧ разряда | Бордусов, С. В. |