Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/196313
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБринкевич, Дмитрий Иванович-
dc.contributor.authorПросолович, Владислав Савельевич-
dc.contributor.authorЯнковский, Юрий Николаевич-
dc.date.accessioned2018-05-29T11:22:34Z-
dc.date.available2018-05-29T11:22:34Z-
dc.date.issued2002-
dc.identifier.citationВестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2002. - № 2. – С. 53-55.ru
dc.identifier.issn0321-0367-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/196313-
dc.description.abstractThe possibility of the use of Lu and Ge doped silicon in the base MOS-technology were studied. Doping by these impurities decreased the quantity of leakage current and increased the break­down voltage of p - n-junctions and Si - Si02-polySi structures. It is shown that Ge and Lu doping of the epitaxial layers allows to improve the stability of p - n-junctions and MOS-structures to the radiation effects.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleЭпитаксиальные слои кремния, легированные германием и лютециемru
dc.typearticleru
Располагается в коллекциях:2002, №2 (май)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
53-55.pdf1,93 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.