Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/195089
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorГайдук, И. И.-
dc.contributor.authorЧернявская, Ю. В.-
dc.contributor.authorЛарсен, А. Н.-
dc.contributor.authorТишков, В. С.-
dc.contributor.authorКомаров, Ф. Ф.-
dc.date.accessioned2018-05-15T12:23:41Z-
dc.date.available2018-05-15T12:23:41Z-
dc.date.issued2000-
dc.identifier.citationВестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2000. - № 3. – С. 18-22.ru
dc.identifier.issn0321-0367-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/195089-
dc.description.abstractCarrier mobility and resistivity of epitaxially grown Si1-xGex layers are investigated by differential Hall measurements. The layers of Si1-xGex alloy were epitaxially grown by MBB on Si waters. Implantation of As (8-1015 cm -2) as well as rapid thermal annealing were applied for alloy doping. The dependence of carrier mobility and resistivity are obtained as a function of Si1-xGex commposition.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleКонцентрационные зависимости подвижности носителей заряда и удельного сопротивления в имплантированных сплавах Si1-xGexru
dc.typearticleru
Располагается в коллекциях:2000, №3 (сентябрь)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
18-22.pdf2,05 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.