Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/194982| Заглавие документа: | Оборудование для быстрой термообработки (БТО) в технологии создания СБИС |
| Авторы: | Точицкий, Я. И. Матюшков, В. Е. Русецкий, А. М. Пилипенко, В. А. Пономарь, В. М. Людчик, О. Р. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2000 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2000. - № 1. – С. 33-37. |
| Аннотация: | A modem RTP system is an automated device with a cassette-assisted loading and unloa-ding, design modifications of which are adapted for the specific thermal processing (annealing, oxidizing, etc). |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/194982 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2000, №1 (январь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.