Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/194982
Title: Оборудование для быстрой термообработки (БТО) в технологии создания СБИС
Authors: Точицкий, Я. И.
Матюшков, В. Е.
Русецкий, А. М.
Пилипенко, В. А.
Пономарь, В. М.
Людчик, О. Р.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2000
Publisher: Минск : Універсітэцкае
Citation: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2000. - № 1. – С. 33-37.
Abstract: A modem RTP system is an automated device with a cassette-assisted loading and unloa-ding, design modifications of which are adapted for the specific thermal processing (annealing, oxidizing, etc).
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/194982
ISSN: 0321-0367
Appears in Collections:2000, №1 (январь)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
33-37.pdf3,73 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.