Термическая стабильность структурно-фазового состояния многослойных плёнок AlN/SiN при высокотемпературном отжиге на воздухе : реферат дипломной работы / Кананович Н.А.; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики твердого тела; науч. рук. Шиманский В.И.

Issue Date Author Title Subject

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/191124

Title:	Термическая стабильность структурно-фазового состояния многослойных плёнок AlN/SiN при высокотемпературном отжиге на воздухе : реферат дипломной работы / Кананович Н.А.; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики твердого тела; науч. рук. Шиманский В.И.
Authors:	Кананович, Н. А.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Астрономия
Issue Date:	Jan-2018
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/191124
Appears in Collections:	Физика (ядерные физика и технологии). 2018

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Kananovich_diplom.pdf		98,8 kB	Adobe PDF	View/Open