Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/185926
Title: Морфология поверхности пленок теллурида кадмия, полученных методом вакуумного напыления на подложках из кремния и теллурида кадмия
Other Titles: Surface morphology of cadmium telluride films prepared by vacuum sputtering on the silicon and cadmium telluride substrates / A. T. Akobirova, V. I. Halauchyk, M. G. Lukashevich, N. S. Sultonov, R. B. Hamroqulov
Authors: Акобирова, А. Т.
Головчук, В. И.
Лукашевич, М. Г.
Султонов, Н. С.
Хамрокулов, Р. Б.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2017
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Журнал Белорусского государственного университета. Физика = Journal of the Belarusian State University. Physics. - 2017. - № 2. - С. 69-75
Abstract: Методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии и рентгеноструктурного анализа исследована морфология поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевых подложках и подложках монокристаллического теллурида кадмия путем напыления в квазизамкнутом объеме. Показана возможность синтеза поликристаллических пленок с разным размером зерна и различной шероховатостью, изменяющимися в интервале от 2,5 до 5,0 мкм и от 34,1 до 87,5 нм соответственно. Обработка пленок бромбутиловым травителем приводит к изменению шероховатости поверхности до 17,9 нм. Элементный состав приповерхностного слоя пленки определялся методом рентгеноспектрального микроанализа, а структура – с помощью рентгеновского дифрактометра. = The results of atomic-force and scan electron microscopy of cadmium telluride films prepared on silicon and monocrystall in cadmium telluride substrates by means of sputtering in quasi-closed volume are presented. It is shown that mean grain size of the obtained films ranging in the interval 2.5–5.0 m with roughness of the films changing in the range 34,1–87,5 nm. Etching of films bromine-butyl etchant results in improved surface morphology and roughness of the film reduces to 17.9 nm. The elemental composition of the film surface layer was determined by X-ray microanalysis and structure by X-ray diffractometer.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/185926
ISSN: 2520-2243
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:2017, №2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
69-75.pdf1,91 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.