Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/182398
Заглавие документа: | Влияние термического и лазерного отжига на люминесценцию тонких пленок нитрида кремния с избытком кремния |
Другое заглавие: | Effect of thermal and laser annealing on Si-rich silicon nitride films photoluminescence / I.N. Parkhomenko, I.A. Romanov, F.V. Potemkin, D.V. Shuleyko, F.V. Kashaev, Tomasz Koltunowicz |
Авторы: | Пархоменко, И. Н. Романов, И. А. Потемкин, Ф. В. Шулейко, Д. В. Кашаев, Ф. В. Koltunowicz, T. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | Минск: Изд. центр БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 266-268. |
Аннотация: | Представлены результаты по воздействию термической и лазерной обработки на фотолюминесценцию тонких пленок нитрида кремния с избытком кремния 5-7 %, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения. Термический отжиг проводился при температурах 900-1100°C в течение часа. Лазерный отжиг осуществлялся с помощью наносекундных импульсов излучения рубинового лазера с плотностью энергий в диапазоне 0.45-1.4 Дж/см2. Показано, что импульсный лазерный отжиг с плотностью энергии 1.1 Дж/см2 приводит к увеличению интенсивности фотолюминесценции на порядок и сдвигу максимума ФЛ в синюю область, в то время как после равновесного изотермического отжига наблюдается сдвиг максимума ФЛ в красную область и снижение интенсивности свечения = The effect of thermal and laser annealing on photoluminescence (PL) of PECVD silicon nitride films with Si excess 5−7 % has been investigated. The thermal treatment was carried out at 900–1100 °C for hour. The laser annealing was realised by nanosecond impulses of ruby laser at density of energy in the range of 0.45–1.4 J/cm2. It was shown, impulse laser annealing with density of energy 1.1 J/cm2 results in increase of PL intensity and blue shift of PL maxima, while thermal annealing results in quenching luminescence and red shift of PL maxima |
Доп. сведения: | Секция 3. Модификация свойств материалов |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/182398 |
ISBN: | 978-985-553-446-5 |
Располагается в коллекциях: | 2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
266-268.pdf | 379,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.