Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/182359
Заглавие документа: | Особенности отжига Е-центров (комплексов вакансия-фосфор) в облученных кристаллах кремния с различным примесно-дефектным составом |
Другое заглавие: | Some features of the E-centre annealing in irradiated Si crystals with different defect-impurity content / I.F. Medvedeva, L.I. Murin, V.P. Markevich |
Авторы: | Медведева, И. Ф. Мурин, Л. И. Маркевич, В. П. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | Минск: Изд. центр БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 166-168. |
Аннотация: | Методами эффекта Холла и DLTS исследованы особенности отжига комплексов вакансия-фосфор (Е- центров) в кристаллах кремния с различным содержанием примесных атомов фосфора и кислорода. Установлено, что доминирующим механизмом отжига Е- центров, находящихся в нейтральном зарядовом состоянии, является диссоциация c появлением подвижной вакансии и последующим образованием А-центров (комплексов вакансия-кислород) и дефектов с акцепторным уровнем у Ес-0.21 эВ, идентифицированных как пара атомов углерода в узлах решетки (Сs-Сs) = The generation and annihilation of defects upon electron irradiation and subsequent annealing have been studied by Hall effect and DLTS techniques in phosphorus-doped silicon crystals which were grown by the vacuum float zone technique. It was found that the disappearance of phosphorus-vacancy pairs in the temperature range of 125-175 °C is accompanied by a significant reduction in the concentration of Ci-Cs complexes and formation of a defect with an acceptor level at Ec-0.21 eV. The level was assigned to a pair of substitutional carbon atoms (Cs-Cs), which is formed when the free vacancy released upon E centre annealing is captured by the Ci-Cs complex. In samples containing some amount of oxygen the formation of A-centres has been observed upon disappearance of the phosphorus-vacancy pairs |
Доп. сведения: | Секция 2. Радиационные эффекты в твердом теле |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/182359 |
ISBN: | 978-985-553-446-5 |
Располагается в коллекциях: | 2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
166-168.pdf | 405,61 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.