Внутренние напряжения в CrAlN и TiAlN покрытиях, осаждаемых при плазменно-иммерсионной имплантации ионов

Abstract

В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона анализируется процесс формирования внутренних напряжений σ в многокомпонентном покрытии, осаждаемом из смешанного пучка разнозарядных ионов. Проведен расчет зависимости σ от потенциала смещения U в покрытии Cr1-xAlxN, (Ti1-xAlxN) при различном содержании х ионов Al в осаждаемом пучке. Показано, что в режиме импульсного потенциала смещения внутренние напряжения в осаждаемом покрытии Cr1-хAlхN, (Ti1-хAlхN) увеличиваются (уменьшаются) при возрастании x. Определены условия, при которых результаты вычислений согласуются с экспериментальными данными = In the model of nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion, the process of intrinsic stress σ formation in multicomponent coating deposited from mixed beam of differently charged ions is analyzed. Intrinsic stress calculation depending on bias potential U in Cr1-xAlxN, (Ti1-xAlxN) coating is carried out at different content x of Al ions in deposited beam. It is shown that intrinsic stress in coating Cr1-xAlxN, (Ti1-xAlxN) increases (decreases) with x in case of the pulsed bias potential. The conditions when the results of the calculations are consistent with the experimental data are determined