Формирование зондов для атомно-силовой микроскопии методом локального ионно-стимулированного осаждения

Abstract

В работе представлены результаты экспериментальных исследований по формированию острия зондов для атомно-силовой микроскопии методом локального ионно-стимулированного осаждения. Изготовлены экспериментальные образцы зондов с радиусом закругления острия 50 нм и аспектным соотношением 30:1. Показано, что применение таких зондов позволяет минимизировать артефакты исследования, повысить точность измерения рельефа поверхности. Установлено, что модифицированные методом ионно-стимулированного осаждения зонды обладают повышенной долговечностью в сравнении со стандартными кантилеверами. Показана перспективность метода ФИП при формировании острия зондов для атомно-силовой микроскопии = The paper presents the results of experimental studies on the formation of probes for atomic force microscopy using local ion-induced deposition method. Experimental samples of probes with a tip radius of 50 nm and an aspect ratio of 30:1 are made. It is shown that the use of such probes makes it possible to minimize the artifacts of the investigation, to improve the accuracy of measuring the surface relief. It has been established that the probes modified by ion-stimulated deposition have an increased durability in comparison with standard cantilevers. The prospects of the FIB method for the formation of the probe tips for atomic force microscopy are shown