Влияние соотношения Al/Ti на структуру и оптические свойства покрытий Ti-Al-C-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Abstract

Методами растровой электронной микроскопии и энергодисперсионного рентгеновского микроанализа исследованы структура и элементный состав покрытий Ti-Al-C-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления с использованием мишеней с различным содержанием Al. Установлено, что тип структуры существенно зависит от соотношения Al/Ti. С помощью системы спектрофотометрического контроля выявлено, что наибольший коэффициент отражения соответствует покрытию с наименьшим соотношением Al/Ti = 0,32 = The structure and elemental composition of Ti-Al-C-N coatings formed by reactive magnetron sputtering method using targets with different Al contents were studied by scanning electron microscopy and energy dispersive X-ray microanalysis. It was found that the structure type significantly depends on the Al/Ti ratio. By means of spectrophotometric systems it was revealed, that the largest reflection coefficient corresponds to the coating with the smallest ratio Al/Ti = 0.32