Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/173705
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЛейнова, С. Л.-
dc.contributor.authorОвсянникова, С. В.-
dc.contributor.authorЮхневич, А. В.-
dc.date.accessioned2017-06-09T07:34:53Z-
dc.date.available2017-06-09T07:34:53Z-
dc.date.issued1988-
dc.identifier.citationНеорганические материалы. - 1988. - Т. 24. - № 3. - С. 370-373.ru
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/173705-
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleТипы микрорельефа поверхности монокристаллов кремния, формирующегося при кислотном травленииru
dc.typejournal articleru
Располагается в коллекциях:Статьи сотрудников НИИ ФХП

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
370-373.PDF613,97 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.