Типы микрорельефа поверхности монокристаллов кремния, формирующегося при кислотном травлении

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/173705

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лейнова, С. Л.	-
dc.contributor.author	Овсянникова, С. В.	-
dc.contributor.author	Юхневич, А. В.	-
dc.date.accessioned	2017-06-09T07:34:53Z	-
dc.date.available	2017-06-09T07:34:53Z	-
dc.date.issued	1988	-
dc.identifier.citation	Неорганические материалы. - 1988. - Т. 24. - № 3. - С. 370-373.	ru
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/173705	-
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Типы микрорельефа поверхности монокристаллов кремния, формирующегося при кислотном травлении	ru
dc.type	journal article	ru
Appears in Collections:	Статьи сотрудников НИИ ФХП

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
370-373.PDF		613,97 kB	Adobe PDF	View/Open