Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/173696
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЮхневич, А. В.-
dc.date.accessioned2017-06-09T07:10:13Z-
dc.date.available2017-06-09T07:10:13Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.citationИзвестия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2003. - № 3. - С. 68-73.ru
dc.identifier.issn1609-3597-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/173696-
dc.description.abstractРассмотрен относительно новый метод определения примесного и изотопного состава монокристаллического кремния. Метод основан на анализе особенностей спектров низкотемпературной люминесценции кристаллов, предварительно облученных нормированным потоком жесткой радиации (гамма-квантами, нейтронами, ускоренными электронами или ионами). В результате такого облучения в объеме кристалла формируются радиационные дефекты, интенсивно люминесцирующие в «примесной» области спектра люминесценции кремния. Спектры люминесценции отдельных дефектов содержат узкие «бесфононные» линии, положение которых в спектре и их интенсивность характеризуют сорт и концентрацию атомов примеси в кристалле. Метод обеспечивает высокую чувствительность и пространственное разрешение при оценке характера распределения в кристалле ряда примесей и собственных изотопов кремния. Например, с субмикронным разрешением измеряется концентрация атомов кислорода и углерода на уровне 10"см 3.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМосква : МИСиСru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.titleЛюминесцентный анализ примесного и изотопного состава монокристаллического кремнияru
dc.typejournal articleru
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ФХП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
68-73.PDF1,08 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.