Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/170234
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorAl’zhanova, A.-
dc.contributor.authorDauletbekova, A.-
dc.contributor.authorKomarov, F.-
dc.contributor.authorVlasukova, L.-
dc.contributor.authorYuvchenko, V.-
dc.contributor.authorAkilbekov, A.-
dc.contributor.authorZdorovets, M.-
dc.date.accessioned2017-04-05T09:09:09Z-
dc.date.available2017-04-05T09:09:09Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationNuclear Instruments and Methods in Physics Research B. - 2016. - Vol. 374. - Pp. 121–124.ru
dc.identifier.issn0168-583X-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/170234-
dc.description.abstractThe process of latent track etching in SiO2/Si structures irradiated with40Ar (38 MeV),84Kr (59 MeV) and 132Xe (133 and 200 MeV) ions has been investigated. The experimental results of SiO2etching in a hydrofluoric acid solution have been compared with the results of computer simulation based on the thermal spike model. It has been confirmed that the formation of a molten region along the swift ion trajectory with minimum radius of 3 nm can serve as a theoretical criterion for the reproducible latent track etching tracks in SiO2ru
dc.language.isoenru
dc.publisherElsevier Science Publishing Company, Inc.ru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titlePeculiarities of latent track etching in SiO2/Si structures irradiated with Ar, Kr and Xe ionsru
dc.typejournal articleru
Располагается в коллекциях:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
121-124.pdf1,87 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.