Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/170234
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Al’zhanova, A. | - |
dc.contributor.author | Dauletbekova, A. | - |
dc.contributor.author | Komarov, F. | - |
dc.contributor.author | Vlasukova, L. | - |
dc.contributor.author | Yuvchenko, V. | - |
dc.contributor.author | Akilbekov, A. | - |
dc.contributor.author | Zdorovets, M. | - |
dc.date.accessioned | 2017-04-05T09:09:09Z | - |
dc.date.available | 2017-04-05T09:09:09Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. - 2016. - Vol. 374. - Pp. 121–124. | ru |
dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/170234 | - |
dc.description.abstract | The process of latent track etching in SiO2/Si structures irradiated with40Ar (38 MeV),84Kr (59 MeV) and 132Xe (133 and 200 MeV) ions has been investigated. The experimental results of SiO2etching in a hydrofluoric acid solution have been compared with the results of computer simulation based on the thermal spike model. It has been confirmed that the formation of a molten region along the swift ion trajectory with minimum radius of 3 nm can serve as a theoretical criterion for the reproducible latent track etching tracks in SiO2 | ru |
dc.language.iso | en | ru |
dc.publisher | Elsevier Science Publishing Company, Inc. | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Peculiarities of latent track etching in SiO2/Si structures irradiated with Ar, Kr and Xe ions | ru |
dc.type | journal article | ru |
Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
121-124.pdf | 1,87 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.