Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/16698
Заглавие документа: | Взаимодействие быстрых ионов водорода с поверхностью кремния при скользящих углах падения |
Авторы: | Бойко, Е. Б. Камышан, А. С. Комаров, Ф. Ф. Лагутин, А. Е. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | мая-2006 |
Издатель: | БГУ |
Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2006. - № 2. – С. 20-24. |
Аннотация: | The present paper deals with the interaction of 380 keV H+ ions with Si surface at glancing angles corresponding to the quasichanneling regime. = Измерены угловые распределения с энергией 380 кэВ ионов водорода, отраженных от поверхности (111) монокристалла кремния при углах падения относительно плоскости от 0,3 до 0,8°. Показано, что увеличение угла падения вызывает значительный рост скорости изменения таких характеристик угловых распределений, как угловая величина переднего фронта, угловая ширина распределений, амплитуда. Измеренные энергетические спектры отраженных ионов при величине угла падения 0,5° состоят из нескольких пиков, расстояния между которыми практически не отличаются друг от друга, а амплитуды слабо уменьшаются при сдвиге в область меньших энергий. Экспериментально показано, что самый высокоэнергетический пик вызван отражением от поверхности, а остальные обусловлены последовательным рассеянием ионов кристаллографическими плоскостями кремния. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/16698 |
ISSN: | 0321-0367 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 2006, №2 (май) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.