Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/16698
Заглавие документа: Взаимодействие быстрых ионов водорода с поверхностью кремния при скользящих углах падения
Авторы: Бойко, Е. Б.
Камышан, А. С.
Комаров, Ф. Ф.
Лагутин, А. Е.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: мая-2006
Издатель: БГУ
Библиографическое описание источника: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2006. - № 2. – С. 20-24.
Аннотация: The present paper deals with the interaction of 380 keV H+ ions with Si surface at glancing angles corresponding to the quasichanneling regime. = Измерены угловые распределения с энергией 380 кэВ ионов водорода, отраженных от по­верхности (111) монокристалла кремния при углах падения относительно плоскости от 0,3 до 0,8°. Показано, что увеличение угла падения вызывает значительный рост скорости изменения та­ких характеристик угловых распределений, как угловая величина переднего фронта, угловая ши­рина распределений, амплитуда. Измеренные энергетические спектры отраженных ионов при ве­личине угла падения 0,5° состоят из нескольких пиков, расстояния между которыми практически не отличаются друг от друга, а амплитуды слабо уменьшаются при сдвиге в область меньших энергий. Экспериментально показано, что самый высокоэнергетический пик вызван отражением от поверхности, а остальные обусловлены последовательным рассеянием ионов кристаллографи­ческими плоскостями кремния.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/16698
ISSN: 0321-0367
Располагается в коллекциях:2006, №2 (май)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
20-24.pdf238,78 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.