Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/163838
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorНаливайко, О. Ю.-
dc.contributor.authorРоговой, В. И.-
dc.contributor.authorТурцевич, А. С.-
dc.contributor.authorКисель, А. М.-
dc.date.accessioned2016-12-27T14:46:16Z-
dc.date.available2016-12-27T14:46:16Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 102–105.ru
dc.identifier.isbn978-985-553-403-8-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/163838-
dc.description.abstractНастоящая работа посвящена разработке процесса формирования межкомпонентной изоляции канавками, заполненными диэлектриком для микросхем с проектными нормами 0,35 мкм и ниже.ru
dc.description.sponsorshipБелорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : Изд. центр БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleФормирование межкомпонентной изоляции канавками, заполненными диэлектрикомru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2016. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
С.102-105_Наливайко.pdf605,39 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.