Browsing "2016. Материалы и структуры современной электроники" by Author Чапланов, А. М.
Showing results 1 to 1 of 1
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|---|
2016 | Быстрая термическая обработка системы TiN/Ti/Si | Маркевич, М. И.; Стельмах, В. Ф.; Чапланов, А. М.; Петлицкий, А. Н.; Жигулин, Д. В. |