Просмотр "2016. Материалы и структуры современной электроники" Авторы Чапланов, А. М.
Результаты 1 - 1 из 1
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2016 | Быстрая термическая обработка системы TiN/Ti/Si | Маркевич, М. И.; Стельмах, В. Ф.; Чапланов, А. М.; Петлицкий, А. Н.; Жигулин, Д. В. |