Магнитореологическое полирование подложек и пленок микроэлектроники: аннотация к дипломной работе / Попченя Ю.В.; БГУ; Физический факультет; Кафедра энергофизики. Научн. рук. - Худолей А.Л.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/152468

Title:	Магнитореологическое полирование подложек и пленок микроэлектроники: аннотация к дипломной работе / Попченя Ю.В.; БГУ; Физический факультет; Кафедра энергофизики. Научн. рук. - Худолей А.Л.
Authors:	Попченя, Ю. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	Jun-2016
Abstract:	Цель работы − оценка перспектив использования магнитореологической обработки для полирования подложек и пленок микроэлектроники с достижением уровня шероховатости поверхности в единицы нанометров, а также осуществления коррекции их формы с точностью менее 10 нм.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/152468
Appears in Collections:	Физика (производственная деятельность). 2016

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Аннотация к дипломной работе Попчени Ю.В.PDF		202,58 kB	Adobe PDF	View/Open

PlumX