Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/152468
Title: Магнитореологическое полирование подложек и пленок микроэлектроники: аннотация к дипломной работе / Попченя Ю.В.; БГУ; Физический факультет; Кафедра энергофизики. Научн. рук. - Худолей А.Л.
Authors: Попченя, Ю. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: Jun-2016
Abstract: Цель работы − оценка перспектив использования магнитореологической обработки для полирования подложек и пленок микроэлектроники с достижением уровня шероховатости поверхности в единицы нанометров, а также осуществления коррекции их формы с точностью менее 10 нм.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/152468
Appears in Collections:Физика (производственная деятельность). 2016

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Аннотация к дипломной работе Попчени Ю.В.PDF202,58 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.