Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/152468
Title: | Магнитореологическое полирование подложек и пленок микроэлектроники: аннотация к дипломной работе / Попченя Ю.В.; БГУ; Физический факультет; Кафедра энергофизики. Научн. рук. - Худолей А.Л. |
Authors: | Попченя, Ю. В. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | Jun-2016 |
Abstract: | Цель работы − оценка перспектив использования магнитореологической обработки для полирования подложек и пленок микроэлектроники с достижением уровня шероховатости поверхности в единицы нанометров, а также осуществления коррекции их формы с точностью менее 10 нм. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/152468 |
Appears in Collections: | Физика (производственная деятельность). 2016 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Аннотация к дипломной работе Попчени Ю.В.PDF | 202,58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.