Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/152468| Заглавие документа: | Магнитореологическое полирование подложек и пленок микроэлектроники: аннотация к дипломной работе / Попченя Ю.В.; БГУ; Физический факультет; Кафедра энергофизики. Научн. рук. - Худолей А.Л. |
| Авторы: | Попченя, Ю. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | июн-2016 |
| Аннотация: | Цель работы − оценка перспектив использования магнитореологической обработки для полирования подложек и пленок микроэлектроники с достижением уровня шероховатости поверхности в единицы нанометров, а также осуществления коррекции их формы с точностью менее 10 нм. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/152468 |
| Располагается в коллекциях: | Физика (производственная деятельность). 2016 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Аннотация к дипломной работе Попчени Ю.В.PDF | 202,58 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.