Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/152468
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПопченя, Ю. В.-
dc.date.accessioned2016-06-23T08:33:16Z-
dc.date.available2016-06-23T08:33:16Z-
dc.date.issued2016-06-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/152468-
dc.description.abstractЦель работы − оценка перспектив использования магнитореологической обработки для полирования подложек и пленок микроэлектроники с достижением уровня шероховатости поверхности в единицы нанометров, а также осуществления коррекции их формы с точностью менее 10 нм.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleМагнитореологическое полирование подложек и пленок микроэлектроники: аннотация к дипломной работе / Попченя Ю.В.; БГУ; Физический факультет; Кафедра энергофизики. Научн. рук. - Худолей А.Л.ru
dc.typeAbstractru
Appears in Collections:Физика (производственная деятельность). 2016

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Аннотация к дипломной работе Попчени Ю.В.PDF202,58 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.