Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/152468Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Попченя, Ю. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-06-23T08:33:16Z | - |
| dc.date.available | 2016-06-23T08:33:16Z | - |
| dc.date.issued | 2016-06 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/152468 | - |
| dc.description.abstract | Цель работы − оценка перспектив использования магнитореологической обработки для полирования подложек и пленок микроэлектроники с достижением уровня шероховатости поверхности в единицы нанометров, а также осуществления коррекции их формы с точностью менее 10 нм. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Магнитореологическое полирование подложек и пленок микроэлектроники: аннотация к дипломной работе / Попченя Ю.В.; БГУ; Физический факультет; Кафедра энергофизики. Научн. рук. - Худолей А.Л. | ru |
| dc.type | annotation | ru |
| Располагается в коллекциях: | Физика (производственная деятельность). 2016 | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Аннотация к дипломной работе Попчени Ю.В.PDF | 202,58 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.