Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/152027
Заглавие документа: | Sposob wytwarzania bezuzwojeniowych indukcyjnosci do ukladow mikroelektronicznych |
Авторы: | Zhukowski, P. Koltunowicz, T. N. Wegierek, P. Fedotov, A. Fedotova, J. Larkin, A. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | сен-2011 |
Издатель: | Urzed Patentowego Rzeczypospolitej Polskiej |
Библиографическое описание источника: | Sposob wytwarzania bezuzwojeniowych indukcyjnosci do ukladow mikroelektronicznych: patent na wynalazek / P. Zhukowski, T.N. Koltunowicz, P. Wegierek, A. Fedotov, J. Fedotova, A. Larkin // Biuletyn Urzedu Patentowego Rzeczypospolitej Polskiej. - 2011. - № 20. - P. 35 |
Аннотация: | Sposób wytwarzania obszarów bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem magnetronowym (6) warstwy materiału ferromagnetycznego o składzie (Co0,45Fe0,45Zr0,10)0,38(Al2O3)0,62 w atmosferze argonu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1 Pa, korzystnie 5,19 • 10-2 Pa i tlenu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1Pa, korzystnie 4,41 •10-2 Pa na płytkę (3) podłożową z krzemu, poddaną, wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 575°C, w czasie 10-30 minut, korzystnie 15 minut. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/152027 |
Располагается в коллекциях: | Архив статей |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Sposob wytwarzania bezuzwojeniowych indukcyjnosci do ukladow mikroelektronicznych.PDF | 245,4 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.