Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/14173
Заглавие документа: | Свойства бистабильных водородосодержащих доноров в эпитаксиальном кремнии, имплантированном протонами |
Авторы: | Покотило, Ю. М. Петух, А. Н. Цвырко, В. Т. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | янв-2007 |
Издатель: | БГУ |
Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2007. - № 1. – С. 28-32. |
Аннотация: | Hydrogen donors formation processes are studied in epitaxial silicon implanted with 300 keV protons. Different types of hydrogen donors are formed in dependence on annealing conditions and fiuences. Hydrogen double donors (HDD) are formed on early annealing stage. HDD possess bistability property. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/14173 |
ISSN: | 0321-0367 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 2007, №1 (январь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.