Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/133767| Заглавие документа: | Исследование начальных стадий роста пленок германия в горизонтальном реакторе пониженного давления. |
| Авторы: | Наливайко, О. Ю. Турцевич, А. С. Лепешкевич, Г. В. Жигулин, Д. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2015 |
| Издатель: | Минск : РИВШ |
| Библиографическое описание источника: | Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 115-116. |
| Аннотация: | Установлены условия процесса осаждения Ge, которые позволяют варьировать размер зерна и шероховатость пленок Ge. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/133767 |
| ISBN: | 978-985-500-903-1 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 115_Nalivaiko.pdf | 476,44 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.